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UV Messgeräte für Mask Aligner (Lithografie)

App. 038

Ein Mask Aligner ist eine Präzisionswerkzeugmaschine, die im Halbleiterherstellungsprozess zur Übertragung eines Musters auf einen Wafer oder ein Substrat verwendet wird; diese Muster sind typischerweise in der Mikro- und Nanoskala. Die Muster (Strukturen) werden durch ein Schattentransferverfahren erzeugt, bei dem das zu druckende Muster (Fotomaske) zwischen einer Lichtquelle und dem zu strukturierenden Substrat (Wafer) platziert wird. Das zu strukturierende Substrat wird zunächst mit einem lichtempfindlichen Material (Photoresist) beschichtet, das dann auf das vom Schattenbild projizierte Licht reagiert. Das so entstandene Muster wird dann mit speziellen Chemikalien entwickelt.
Dieses Verfahren ist allgemein als Fotolithografie bekannt. Weitere Einzelheiten zu dieser Mikrofertigungstechnik werden in einem separaten Dokument Grundlagen der Lithografie [1] behandelt.
Mit Hilfe von Maskenausrichtern/Mask Aligner kann die Fotolithografie zur Herstellung von Halbleiterbauelementen wie Transistoren, Sensoren, medizinischen Komponenten usw. verwendet werden. Neben einer Methode zum gleichmäßigen Beschichten des Substrats mit Fotolack ist ein Mask Aligner für den Fotolithografieprozess von entscheidender Bedeutung. Ein Mask Aligner wird verwendet, um das beschichtete Substrat präzise auf die Fotomaske auszurichten, die die zu strukturierende Struktur enthält, und um dann das Substrat mit Licht zu belichten, um das gewünschte Muster auf das Substrat zu übertragen. Bei Anwendungen, bei denen der Lichtdetektor für Temperaturschwankungen anfällig ist, wie bei einem UV-Mask Aligner für die Halbleiterfotolithografie, muss der Temperaturkoeffizient des Lichtdetektors als mögliche Fehlerquelle berücksichtigt werden. Viele aktuelle Mask Aligner verwenden eine leistungsstarke Quecksilberlampe (Hg), die eine hohe UV-Strahlung abgibt und das lichtempfindliche Material (Fotolack) auf dem Substrat belichtet. Je nach verwendetem Fotolack sollte das Licht entweder im Breitbandbereich oder in einem bestimmten Spektrum G: 436 nm, H: 405 nm oder I: 365 nm übertragen werden.
Eine alternative Möglichkeit, die sich gegenüber der Quecksilberlampe durchgesetzt hat, ist die Verwendung eines UV-LED-Arrays. Diese enthalten eine Reihe von LEDs, die Licht bei den Wellenlängen der G-, H- oder I-Linie oder eine Kombination aus allen dreien emittieren, um ein ähnliches Breitbandspektrum wie bei der Quecksilberlampe zu erzeugen. (inseto-Was ist ein Mask Aligner)

Die Gigahertz Optik GmbH stellt viele unterschiedlich konfigurierte UV-Filterradiometer für klassische spektrale Breitband-UV-Lampen wie Mittel- und Hochdruck-Quecksilberdampflampen oder Niederdrucklampen in Mask Alignern her. Diese Radiometer wurden in Abstimmung mit unseren Kunden, die Mask Aligner und andere Photolithographiegeräte herstellen, entwickelt. Dies führt häufig dazu, dass wir zum OEM-Lieferanten mit Private-Label-Geschäftsvereinbarungen werden. Wir bieten einzigartige kundenspezifische Lösungen wie eine in die Elektronik integrierte Temperaturkorrekturfunktion, die die Temperatur misst und die Bestrahlungsstärke entsprechend korrigiert.

Wir bieten auch UV-Radiometer zur Messung der Bestrahlungsstärke bei verschiedenen LED-Wellenlängen und Spektralradiometer, die sowohl Wellenlängen- als auch Intensitätsinformationen liefern. Zu den Vorteilen von UV-Filterradiometern gehören ein günstiges Preis-/Leistungsverhältnis, ein flaches, flaches Detektordesign nach Bedarf, schnelle Messzeiten und Robustheit. Spektralradiometer sind nicht auf einen bestimmten spektralen Bandpass beschränkt, so dass sie vielseitiger sind und vor allem in der Forschung eingesetzt werden können.

Wir bieten UV-Radiometer mit filterkorrigierten Detektoren für klassische spektrale Breitband-UV-Lampen wie Mitteldruck-Quecksilberdampflampen oder Niederdrucklampen an Maskenausrichtern an. Hier können wir auf jahrzehntelange Erfahrung mit Großkunden in diesem Bereich zurückgreifen. Häufig treten wir auch als OEM-Lieferant mit Kundenlogo auf. Aufgrund des zunehmenden Einsatzes von LED-Lichtquellen bieten wir auch UV-Radiometer zur Messung der Bestrahlungsstärke verschiedener LED-Wellenlängen sowie spektrale Messsysteme (Spektroradiometer) an. Der Vorteil von UV-Radiometern ergibt sich aus ihrem günstigen Preis-Leistungs-Verhältnis, der flachen Bauweise, den kurzen Messzeiten und ihrer Robustheit. Spektralradiometermessungen sind weitgehend unabhängig vom Spektralbereich der LED. Gerne suchen wir gemeinsam mit Ihnen nach der für Sie besten Lösung und unterstützen auch OEM-Labels.

Referenzen

[1] Grundlagen der Litografie